블로그 측정 솔루션 -3D Vina

Wafer Handler mechatronic Wafer Sorter

Wafer Handler mechatronic Wafer Sorter

24/02/2022 9:24

Wafer Handlermechatronic Wafer Sorter 개요 경제적인 웨이퍼 매니지먼트  자동화된 웨이퍼 이송 장비는 제조 공정 전반에 걸쳐 각 웨이퍼를 추적하고 손상 및 파티클 오염의 위험을 완벽히 제거하는 역할을 합니다. 반도체 산업의 경제적인 매니지먼트를 위해서는 이러한 Wafer Sorter의 도입이 필수적입니다.메카트로닉의 mWS 시리즈는 최신형 기술의 웨이퍼 자동 분류장비로, 초박막 또는 휜(Warped) 웨이퍼를 안전하게 취급하는 새로운 표준입니다. 또한 모듈식 설계 개념을 일관되게 …

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Wafer Handler mechatronic Wafer Loader

Wafer Handler mechatronic Wafer Loader

24/02/2022 9:18

 Wafer Handlermechatronic Wafer Loader개요초박막 웨이퍼 핸들링 솔루션   제조 공정 기술의 발전에 따라 웨이퍼는 점점 더 얇아지고 있으며, 검사장비 혹은 후 처리 과정에서 매우 얇고 휜 웨이퍼를 처리할 수 있는 기술이 필요로 되고 있습니다.메카트로닉의 웨이퍼 로더는 반도체 산업에서 필요로 하는 최고 수준의 안전성과 신뢰도로 50um 두께의 초박막 웨이퍼를 핸들링 할 수 …

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LASER 미세가공장치NEL-150i

LASER 미세가공장치NEL-150i

24/02/2022 9:12

LASER 미세가공장치NEL-150i 개요 LASER 미세가공장치레이저 미세 가공장비 NEL-150i■ 고출력 YAG 레이저 발진기 및 광학 현미경, 정밀 X,Y Stage를 조합한 반도체 Wafer용 초정밀 Laser가공 장치■ Stage를 제어하고 외부 Interface에서 주어진 좌표로 작업을 쉽게 Positioning■ 가공용 YAG LASER를 현미경 대물 LENS를 통해  Taget에 조사하여 마킹 가능특징■ NUV에 의한 고분해능 관찰 - 단파장 …

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MASK/Wafer 측정기AMFiM 개요

MASK/Wafer 측정기AMFiM 개요

23/02/2022 16:27

MASK/Wafer 측정기AMFiM개요Mask 선폭 측정기해당 제품은 9인치 이하 포토마스크 선폭과 좌표의 자동측정이 가능합니다. 고 정도 스테이지와 독자 개발한 광학계를 채용하여 간단한 조작으로 높은 재현성을 얻을 수 있습니다. i선 LED 광선을 채용하여 메인터넌스가 용이합니다. 스펙●주요사양측정대상마스크 9인치 이하대상 선폭 0.5～30μm（시야 내 …

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MASK/Wafer 측정기BSM

MASK/Wafer 측정기BSM

23/02/2022 16:23

MASK/Wafer 측정기BSM 개요 Wafer 양면 좌표 측정기특징- Wafer 양면 좌표 측정 - 양면 패턴사이 좌표 편차 측정 - 측정 재현성 3σ ≦ 100nm - 노광기와 연계 운용카탈로그BSM(K) …

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Nikon Mini StepperNikon Engineering Stepper

Nikon Mini StepperNikon Engineering Stepper

23/02/2022 16:16

Nikon Mini StepperNikon Engineering Stepper 개요 축소 투영 노광장치 MEMS 스테퍼 시리즈MEMS 디바이스의 다양화에 대응2～6인치 웨이퍼 대응(NES1), 6～8인치 웨이퍼 대응(NES2) MEMS용 R&D 용도에서 양산까지 1대로 대응 가능 다양한 기판 사이즈 / 형태, 접착, 변형 등 커스텀 대응 가능 깊은 DOF로 두꺼운 PR 노광대응 IR 투과 얼라인먼트,Back면 얼라인먼트 가능(Option） Small Footprint로 …

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Nikon Wafer LoaderOST-3100/3200

Nikon Wafer LoaderOST-3100/3200

23/02/2022 16:10

Nikon Wafer LoaderOST-3100/3200 개요 Wafer Inspection System OPTISTATION-3100/3200- 8", 12" Wafer 대응 - Motorized Stage & Auto Focus - Wafer Auto Loading - Thin Wafer & BOW Wafer 대응 - OPTISTATION-3100: 1 FOUP _ OPTISTATION-3200: 2 …

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Nikon Wafer LoaderOST-3000

Nikon Wafer LoaderOST-3000

23/02/2022 16:02

 Nikon Wafer LoaderOST-3000개요Wafer Inspection System OPTISTATION-3000- 8", 12" Wafer 대응 - Manual Stage & Focus - Wafer Auto Loading - 1 Load Port - Thin Wafer & BOW Wafer …

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Nikon Wafer LoaderNWL200

Nikon Wafer LoaderNWL200

23/02/2022 15:54

 Nikon Wafer LoaderNWL200 개요 Wafer Loaders for IC Inspection Microscope200mm Wafer Loader- 8" Wafer 대응 - Manual Stage & Focus - Thin Wafer Loading (100㎛) - Macro 육안검사 기능특징Wafer Loaders for IC …

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NIR 검사용 CM10_NIR 현미경

NIR 검사용 CM10_NIR 현미경

23/02/2022 15:50

 NIR MicroscopeNIR Microscope 개요 NIR 검사용 CM10_NIR 현미경- 근적외선 관찰용 소형 광학계- 실리콘 Wafer 투과 관찰에 적합 - 대응파장: 900nm ~ 1200nm특징- NIR 파장(900nm ~ 1200nm) 대응가능한 소형낙사현미경 - Nikon 대물렌즈 …

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