MASK/Wafer 측정기AMFiM개요Mask 선폭 측정기해당 제품은 9인치 이하 포토마스크 선폭과 좌표의 자동측정이 가능합니다.
고 정도 스테이지와 독자 개발한 광학계를 채용하여 간단한 조작으로 높은 재현성을 얻을 수 있습니다.
i선 LED 광선을 채용하여 메인터넌스가 용이합니다. 스펙●주요사양측정대상마스크
9인치 이하대상 선폭
0.5~30μm(시야 내 …
Nikon Mini StepperNikon Engineering Stepper
개요
축소 투영 노광장치 MEMS 스테퍼 시리즈MEMS 디바이스의 다양화에 대응2~6인치 웨이퍼 대응(NES1), 6~8인치 웨이퍼 대응(NES2)
MEMS용 R&D 용도에서 양산까지 1대로 대응 가능
다양한 기판 사이즈 / 형태, 접착, 변형 등 커스텀 대응 가능
깊은 DOF로 두꺼운 PR 노광대응
IR 투과 얼라인먼트,Back면 얼라인먼트 가능(Option)
Small Footprint로 …
반도체 LSI/FPD 현미경L300N / L300ND
개요
반도체 LSI / FPD 검사 현미경 - 고휘도 반사 투과조명- 고배율 고해상도 샘플관찰- 모터라이징 시스템특징반도체 LSI, FPD 검사 대형 현미경관찰 성능, 환경 대응력, 호환성 강화FPD / LSI 검사에 최적화 된 4가지 타입으로 Line-up 구성 현미경 …