2차원 미터

LASER 미세가공장치NEL-150i

LASER 미세가공장치NEL-150i

24/02/2022 9:12

LASER 미세가공장치NEL-150i 개요 LASER 미세가공장치레이저 미세 가공장비 NEL-150i■ 고출력 YAG 레이저 발진기 및 광학 현미경, 정밀 X,Y Stage를 조합한 반도체 Wafer용 초정밀 Laser가공 장치■ Stage를 제어하고 외부 Interface에서 주어진 좌표로 작업을 쉽게 Positioning■ 가공용 YAG LASER를 현미경 대물 LENS를 통해  Taget에 조사하여 마킹 가능특징■ NUV에 의한 고분해능 관찰 - 단파장 …

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MASK/Wafer 측정기AMFiM 개요

MASK/Wafer 측정기AMFiM 개요

23/02/2022 16:27

MASK/Wafer 측정기AMFiM개요Mask 선폭 측정기해당 제품은 9인치 이하 포토마스크 선폭과 좌표의 자동측정이 가능합니다. 고 정도 스테이지와 독자 개발한 광학계를 채용하여 간단한 조작으로 높은 재현성을 얻을 수 있습니다. i선 LED 광선을 채용하여 메인터넌스가 용이합니다. 스펙●주요사양측정대상마스크 9인치 이하대상 선폭 0.5～30μm（시야 내 …

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MASK/Wafer 측정기BSM

MASK/Wafer 측정기BSM

23/02/2022 16:23

MASK/Wafer 측정기BSM 개요 Wafer 양면 좌표 측정기특징- Wafer 양면 좌표 측정 - 양면 패턴사이 좌표 편차 측정 - 측정 재현성 3σ ≦ 100nm - 노광기와 연계 운용카탈로그BSM(K) …

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Nikon Mini StepperNikon Engineering Stepper

Nikon Mini StepperNikon Engineering Stepper

23/02/2022 16:16

Nikon Mini StepperNikon Engineering Stepper 개요 축소 투영 노광장치 MEMS 스테퍼 시리즈MEMS 디바이스의 다양화에 대응2～6인치 웨이퍼 대응(NES1), 6～8인치 웨이퍼 대응(NES2) MEMS용 R&D 용도에서 양산까지 1대로 대응 가능 다양한 기판 사이즈 / 형태, 접착, 변형 등 커스텀 대응 가능 깊은 DOF로 두꺼운 PR 노광대응 IR 투과 얼라인먼트,Back면 얼라인먼트 가능(Option） Small Footprint로 …

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Nikon Wafer LoaderOST-3100/3200

Nikon Wafer LoaderOST-3100/3200

23/02/2022 16:10

Nikon Wafer LoaderOST-3100/3200 개요 Wafer Inspection System OPTISTATION-3100/3200- 8", 12" Wafer 대응 - Motorized Stage & Auto Focus - Wafer Auto Loading - Thin Wafer & BOW Wafer 대응 - OPTISTATION-3100: 1 FOUP _ OPTISTATION-3200: 2 …

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Nikon Wafer LoaderOST-3000

Nikon Wafer LoaderOST-3000

23/02/2022 16:02

 Nikon Wafer LoaderOST-3000개요Wafer Inspection System OPTISTATION-3000- 8", 12" Wafer 대응 - Manual Stage & Focus - Wafer Auto Loading - 1 Load Port - Thin Wafer & BOW Wafer …

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Nikon Wafer LoaderNWL200

Nikon Wafer LoaderNWL200

23/02/2022 15:54

 Nikon Wafer LoaderNWL200 개요 Wafer Loaders for IC Inspection Microscope200mm Wafer Loader- 8" Wafer 대응 - Manual Stage & Focus - Thin Wafer Loading (100㎛) - Macro 육안검사 기능특징Wafer Loaders for IC …

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NIR 검사용 CM10_NIR 현미경

NIR 검사용 CM10_NIR 현미경

23/02/2022 15:50

 NIR MicroscopeNIR Microscope 개요 NIR 검사용 CM10_NIR 현미경- 근적외선 관찰용 소형 광학계- 실리콘 Wafer 투과 관찰에 적합 - 대응파장: 900nm ~ 1200nm특징- NIR 파장(900nm ~ 1200nm) 대응가능한 소형낙사현미경 - Nikon 대물렌즈 …

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반도체 LSI/FPD 현미경L300N / L300ND

반도체 LSI/FPD 현미경L300N / L300ND

23/02/2022 15:45

반도체 LSI/FPD 현미경L300N / L300ND 개요 반도체 LSI / FPD 검사 현미경  -  고휘도 반사 투과조명-  고배율 고해상도 샘플관찰-  모터라이징 시스템특징반도체 LSI, FPD 검사 대형 현미경관찰 성능, 환경 대응력, 호환성 강화FPD / LSI 검사에 최적화 된 4가지 타입으로 Line-up 구성  현미경 …

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반도체 LSI/FPD 현미경L200N / L200ND

반도체 LSI/FPD 현미경L200N / L200ND

23/02/2022 15:35

반도체 LSI/FPD 현미경L200N / L200ND개요반도체 LSI / FPD 검사 현미경  -  고휘도 반사 투과조명-  고배율 고해상도 샘플관찰-  모터라이징 시스템특징반도체 LSI, FPD 검사 대형 현미경관찰 성능, 환경 대응력, 호환성 강화FPD / LSI 검사에 최적화 된 4가지 타입으로 …

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