Mô tả
200mm 웨이퍼 및 마스크의 완벽한 검사를 위한 CFI60 광학 통합.
Nikon의 우수한 CFI60 LU/L 광학 시스템과 새롭고 특별한 조명 시스템이 결합된 이 현미경은 대비가 더 크고 분해능이 높으며 암시야 이미지가 이전보다 3배 더 밝은 이미지를 제공합니다. 독립적으로 사용하거나 웨이퍼 로더와 함께 사용하는 L200 시리즈는 웨이퍼, 포토 마스크, 레티스 및 기타 기판의 매우 정밀한 광학 검사를 수행합니다.
카테고리: 직립 현미경
애플리케이션: 웨이퍼, 휴대전화, 면도기 – 시계, 광학 망원경, 안테나, 통신 – 전자 제품
선택할 수 있는 3가지 모델
L200: 명시야, 암시야, 단순 편광 및 DIC와 같은 다양한 관찰 방법으로 반사광 조명 결함 식별을 위한 200mm 웨이퍼 및 마스크 검사 기능을 제공합니다.
L200ND: 투과광 및 반사광 조명 모두에 대해 200mm 웨이퍼 및 마스크 검사 기능을 제공합니다. L200N의 관찰 방법 외에도 365nm UV 여기를 포함한 epi-형광 관찰이 가능합니다.
L200A: L200N의 자동화된 버전입니다. 조리개 제어, 포커싱, 명시야/암시야 전환, 노즈피스 회전, 램프 강도 제어 및 DIC 설정과 같이 자주 사용하는 작업은 모두 전동식이며 리모컨이나 PC로 제어할 수 있습니다.
오염 방지 장치
이 현미경의 몸체는 이물질이 현미경에 부착되는 것을 방지하기 위해 정전기 방전 코팅으로 마감되어 있습니다. 또한, 전동식 노즈피스는 내부에 이물질을 가두어 시료 위로 떨어지는 것을 방지하는 차폐된 센터 모터를 사용합니다.
고강도 할로겐 조명
고강도 12V-50W 할로겐 조명기(LV-LH50PC)는 절반의 전력 소비로 12V-100W 할로겐 조명보다 더 큰 밝기를 제공합니다. 이 새로운 램프 하우스는 후면 미러와 최적화된 램프 필라멘트 크기를 통합하여 광학 평면에서 중요한 동공 평면에 효과적이고 균일한 조명을 허용합니다.
향상된 DIC 현미경
Nikon’s CFI LU Plan objectives allow the use of multiple observation techniques, including brightfield, darkfield, and Nomarski DIC using a single objective. For DIC, simply insert a single Nomarski prism into the nosepiece that works for all magnification ranges.
SEMI S2-0200, S8-0600 Compliant Design
Incorporating a SEMI-compliant design, controls and knobs are positioned low and close to the operator while the eyepoint is set at the ideal height for comfortable operation. With the controls located comfortably in the microscope base, hand movement is minimal, allowing concentration on the inspection process. The eyepiece is moved closer to the operator so that he or she can assume a more erect sitting posture. This also positions the operator farther from the stage to provide a more ergonomic and safe viewing position.
Tilting Eyepiece Tube
아이피스 튜브는 3안 틸팅 유형으로 최적의 아이포인트 레벨에서 볼 수 있도록 0°에서 30°까지 틸트 각도를 지속적으로 조정할 수 있습니다. 접안렌즈는 또한 초광시야 디자인이 특징이며 F.O.V. 25mm의.
고정 위치 X-Y 미세 이동 제어
X-Y 미세 움직임 컨트롤은 무대 위치에 관계없이 편안한 시청 자세를 위해 전면에 가까운 동일한 위치에 유지됩니다. 또한 이러한 컨트롤과 포커스 노브가 서로 가까이 있어 한 손으로 두 가지를 모두 조작할 수 있습니다.
소프트웨어 제어가 가능한 전동 노즈피스
L200N 시리즈 현미경용 전동 유니버셜 노즈피스는 중심도가 향상되었으며 기존 모델보다 3배 더 내구성이 있습니다. 또한 노즈피스가 회전할 때 작업자의 눈을 보호하는 플래시 방지 메커니즘이 포함되어 있습니다. L200A 내장 전동 노즈피스에는 DIC 부착용 슬롯이 포함되어 있고 기계식 클릭 스톱 기능이 있으며 시스템이 각각의 목표 위치에서 정확하게 멈출 수 있도록 하는 소프트웨어로 제어됩니다.
CFI60 광학 시스템
더 긴 작동 거리, 높은 개구수(NA) 및 최소한의 플레어로 매우 선명하고 선명한 이미지를 제공합니다. 암시야 관찰 중 신호 대 배경 비율이 이전보다 3배 향상되어 고정밀 관찰에 이상적인 뛰어난 고대비 이미지를 제공합니다.
진동 차단
Nikon은 CAE(Computer-Aided Engineering)를 적용하여 L200 시리즈의 강성을 획기적으로 높여 기존 장비에 비해 바닥 진동에 대한 영향을 3배 덜 받았습니다. 이것은 차례로 고배율 관찰 중에도 원치 않는 흐림 또는 이미지 이동의 가능성을 줄입니다. 이 우수한 설계 안정성은 증가하는 동시에 더 작은 설치 공간을 초래합니다.
Eclipse L200N 시리즈 사양
본체: | 내장 에피스코픽 조명 전동 제어를 위한 내장 전원; 노즈피스용 전동 제어; 광도 조절; 조리개 조리개 제어 |
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초점 메커니즘: | 크로스 트래블: 29mm; Coarse: 회전당 12.7mm(토크 조절 가능, 초점 조정 메커니즘 제공) 미세: 회전당 0.1mm(1µm 단위) |
에피스코픽 조명기: | 12V/100W 할로겐 램프 광원 내장; 전동 조리개 조리개(중앙); 고정 필드 조리개(초점 대상 포함); 핀홀 슬라이더(옵션)를 장착할 수 있습니다. 4개의 25mm 필터(NCB11/ND4/ND16/GIF)를 장착할 수 있습니다. 편광판; 분석기 |
노즈피스: | 고정 전동 6단 유니버셜 노즈피스; DIC 연결용 슬롯 제공 |
접안렌즈 튜브: | L2TT 울트라와이드 틸팅 삼안 접안렌즈 튜브(틸트 각도 0-30°, 직립 이미지); F.O.V.: 25mm; 광학 경로 전환: 2-way(양안:사진 100:0/0:100) |
단계: | 8 x 8 스테이지; 스트로크: 205 x 205mm; 거친/미세 움직임 전환 가능; 고정 위치 X-Y 미세 이동 제어 |
접안렌즈: | CFI 접안 렌즈 시리즈 |
목표: | CFI60 LU/L 플랜 시리즈 |
무게: | 43.75kg(96.45lbs) 8 x 8 스테이지 및 L2TT 접안렌즈 튜브 사용 시 |
규정 준수: | SEMI S2-93A, S8-95, CE, UL |
L200A
관찰 방법: | 명시야, 암시야, DIC, 단순 편광 |
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본체 | 유니버셜 노즈피스가 부착된 에피스코픽 스탠드 – 전원 공급 장치 내장 |
초점 메커니즘: | 스트로크: 29mm; Coarse: 회전당 12.7mm(토크 조절 가능, 초점 정지 메커니즘 제공); 회전당 미세 0.1mm(1µm 단위); 가이드: 4-가이드(2개의 롤러 레이스, 토크 조절 가능) |
에피스코픽 조명기: | 전동 조리개 다이어프램(가운데 가능, 핀홀 슬라이더 통합); 고정 필드 조리개(초점 대상 포함); 4개의 25mm 필터(NCB11/ND4/ND16/GIF)를 장착할 수 있습니다. 편광판; 분석기 |
광원: | 100W 할로겐 – 100W 수은 – 75W 크세논 – 150W 메탈 할라이드 |
접안렌즈 튜브: | UW 틸팅 삼안 접안렌즈 튜브(틸트 각도 0-30°, 직립 이미지); F.O.V.: 25mm; 광학 경로 전환: 2-way(양안: 사진 100:0/0:100) |
노즈피스: | 고정 모터 6중식 유니버셜 노즈피스(중앙에 위치), 높은 내구성 |
단계: | 8 x 8 스테이지; 크로스 트래블: 205 x 205mm, 거친/라인 이동 전환: 수동; 웨이퍼 홀더: 5-8인치, 마스크 홀더 5-6인치 |
통제 수단: | 전면 패널: 노즈피스 회전 버튼, 에피스코픽 조리개 조리개 버튼, 조도 조절 손잡이; 원격 제어: LCD 패널, 배율 전환, 전동 z축, 에피스코프 조리개 조리개 버튼, 광도 제어 손잡이, 전동 명시야 전환 키, DIC 조정 손잡이, 옵션 키 |
접안렌즈: | CFI 접안 렌즈 시리즈 |
접안렌즈: | CFI 접안 렌즈 시리즈 |
목표: | CFI LU/L 플랜 시리즈 |
자동 초점 장치: | 옵션(LED) |
의사 소통: | RS-232C |
무게: | 약 45kg(8 x 8 Stage 및 UW Eyepiece Tube 사용 시) |
규정 준수: | SEMI S2-0200, S8-0600, CE, UL |
L200D
본체: | 내장형 Diascopic 및 Episcopic 조명; 전동 제어를 위한 내장 전원; 노즈피스용 전동 제어; 광도 조절; 조리개 조리개 제어; 에피스코픽/디아스코픽 전환 |
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초점 메커니즘: | 크로스 트래블: 29mm; Coarse: 회전당 12.7mm(토크 조절 가능, 초점 조정 메커니즘 제공) 미세: 회전당 0.1mm(1µm 단위) |
에피스코픽 조명기: | 12V/100W 할로겐 램프 광원 내장; 전동 조리개 조리개(중앙); 고정 필드 조리개(초점 대상 포함); 핀홀 슬라이더(옵션)를 장착할 수 있습니다. 4개의 25mm 필터(NCB11/ND4/ND16 및 GIF)를 장착할 수 있습니다. 편광판; 분석기 |
디아스코픽 조명기: | 12V/100W 할로겐 램프 광원 내장; 조리개 조리개 및 LWD 콘덴서 내장 |
노즈피스 : | 고정 전동 6단 유니버셜 노즈피스; DIC 부착용 슬롯 제공 |
접안렌즈 튜브: | L2TT 울트라와이드 틸팅 삼안 접안렌즈 튜브(틸트 각도 0-30°, 직립 이미지); F.O.V.: 25mm; 광학 경로 전환: 2-way(양안:사진 100:0/0:100) |
단계: | 8 x 8 스테이지; 스트로크: 205 x 205mm(투시경 관찰 범위: 150 x 150mm); 거친/미세 움직임 전환 가능; 고정 위치 X-Y 미세 이동 제어 |
접안렌즈: | CFI 접안 렌즈 시리즈 |
목표: | CFI60 LU/L Plan series |
무게: | 44.45kg(97.99lb) 8 x 8 스테이지 및 L2TT 접안렌즈 튜브 사용 시 |
규정 준수: | SEMI S2-93A, S8-95, CE, UL |