RevolverDR-5A2 (Motorized)

● 고내구성

– 대물렌즈 변환 500만회 이상 실현!

– 급유가 불필한, Maintenance free 구조로, 24시간 가동이 필요한 검사장비 적용에 최적합!

● 고정도

– Non-Contact, 고정밀 마그네틱 센서에 의한 비접촉 위치 검출 방식 채택

– 고강성 구조로 중량있는 대물렌즈의 고속전환에도 고정밀도 유지

– Stopping position Accuracy ±2μm 이내 실현!

● 그 외 특장점

    – 먼지 발진을 최소화 하여, 반도체/FPD 크린룸 사용에 최적합 (Class 4. ISO 14644-1 대응)

– 대물렌즈 변환시 시야중심 틀어짐 보정 기능 탑재

– 대물렌즈 변환시 관찰화상의 조도를 일정하게 제어 가능

● 적용 사례