MASK/Wafer 측정기AMFiM
개요
Mask 선폭 측정기
해당 제품은 9인치 이하 포토마스크 선폭과 좌표의 자동측정이 가능합니다.
고 정도 스테이지와 독자 개발한 광학계를 채용하여 간단한 조작으로 높은 재현성을 얻을 수 있습니다.
i선 LED 광선을 채용하여 메인터넌스가 용이합니다.
스펙
카탈로그
AMFiM (JPN/ENG)
Tags: 2d 미터 교정, 2d 미터 수리, 2차원 미터, 3d 미터, 3D 미터 수리, MASK/Wafer 측정기AMFiM 개요, 수리 cmm 미터, 수리 미터, 수리 현미경, 장비의 기간은 확인해야 함, 장치 교정