Confocal MicroscopeHYBRID CONFOCAL
백색광과 405nm Laser 2가지의 광원을 사용한 HYBRID CONFOCAL
Xenon Lamp와 405nm 파장대의 Laser 2가지의 광원을 채용하여 보다 넓은 영역대의 측정이 가능한 세계 최초 HYBRID Confocal 현미경입니다.
고배율 / 고해상도 이미지 관찰(Laser Confocal Mode)
405nm 파장대의 Laser 광원에 의한 고해상도 관찰이 가능
1.6배의 넓은 F.O.V(Field Of View)로 검사효율 향상
동일한 대물렌즈 사용 시 일반 레이져 컨포칼 대비 약 1.6배의 F.O.V 관찰
고해상도의 Color Confocal 관찰
태양광 파장에 가장 근접한 Xenon 광원을 사용
Color Confocal 방식이기에 가능한 높은 색 분해능의 고해상도 컬러 이미지 취득
나노 레벨의 형상 관찰
Confocal과 DIC(미분간섭) 광학계 조합으로 미세한 형상 구조를 High Contrast로 관찰(Option)
편리한 측정기능
높이측정(Height)
■정밀도 : ±（ 0 .11+ L/100）μm
■재현성 : σ = 0.01μm
표면조도(Surface Roughness)
JIS, ISO 규격에 의거한 표면조도 측정
비접촉 방식으로 샘플의 재질에 상관없이 측정이 가능
■2차원 조도 : Ra, Rz, Rp, Rv… 등
■3차원 조도 : Sa, Sz, Sp, Sv… 등
선폭측정(Width and Pitch)
업계 최고 수준의 정밀도 및 재현성 실현
■정밀도 : ±[0.02x(100/대물렌즈 배율)+L/1000]μm
■재현성 : 3σ = 0.01μm
표면형상 분석 및 측정(Analysis of geometric properties)
면적, 체적, 표면적 등 20여 항목이 넘는 기하 측정이 가능
6파장 선택 기능(Option)
6가지 파장에서 샘플에 최적의 파장을 선택하여 관찰
436nm, 486nm, 514nm, 546nm, 578nm, 633nm의 6파장
※1 Based on reference pattern measurement using 150x ( NA0.95) under no vibration condition.
※2 Based on the measurement of VLSI Standards’ step height standards using 100x ( NA0.95) under no vibration condition.
※3 Up to t he maximum distance of objective lens movement.
HYBRID CONFOCAL (ENG)
Auto-measurement software
지정한 레시피에 따라 선폭, 높이, 조도 등을 자동으로 측정
Auto-inspection software
Wafer나 Glass 등의 표면 미세결함이나 이물 등을 All Auto 전수 검사 가능
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